研究テーマ

本研究室の研究テーマは大きく、「機械加工」「レーザ加工」「計測」に分類でき、研究開発目標のもとで、研究を行っております。

研究開発目標

機能を最大する加工技術の開発と機能評価	高機能化加工
非球面の加工とその形状評価	非球面
短波長用光学素子の加工とその微細表面形状評価	超精密化
加工装置のデスクトップ化	小型化
短波長レーザによる微細加工	紫外光による加工

機械加工

「多重薄板X線望遠鏡用反射鏡の製作」
特別推進研究用・ASTRO-E用。形状精度100nm、表面粗さ0.5nm rmsの非球面形状創成と超高精度レプリカ作成法の開発。
関連する学会発表論文	難波義治、梅村博文、山下廣順*、国枝秀世*、田原譲*（*名古屋大学）：X線望遠鏡用超精密三次元形状計測システムの構築、1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集、（1998）p.76.

「ダイヤモンド切削による赤外線望遠鏡用金属反射鏡の製作」
すばる望遠鏡用センサー開発のための望遠鏡。

「非線形光学結晶の超精密加工」
有機および無機非線形光学結晶の高精度・高能率加工法並びに加工装置の開発。潮解性結晶の超精密加工。
関連する学会発表論文	難波義治、片桐匡教（現FDK）：非線形光学結晶KDPの超精密研削、1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集、（1998）p.343.

「零熱膨張ガラスセラミックスの曲げ強度の表面仕上げ依存性」
超精密機器用材料の強度を保証し、材料の普及を図る。

「各種光学ガラスの超精密研削」
光学研磨に代わる光学素子の高速製造技術の開発。特に紫外用合成石英の加工。

「化学気相成長炭化珪素（CVD-SiC）の超精密研削」
放射光並びに紫外用反射鏡の制作技術の確立。

「ダイヤモンド研磨の基礎研究」
非球面光学金型研磨のためのデータベースの作成。

「高出力レーザ用光学素子の超精密研磨」
レーザ核融合実験用光学素子のフロート・ポリシングとそれによるレーザしきい値向上。

レーザ加工

「紫外固体レーザによる超精密自由曲面の創成」
レーザ蒸発・昇華・解離・CVD現象を利用し、形状を干渉計でモニタしながら所望の三次元形状を創成する。

「半導体レーザ励起小型紫外レーザの開発」
マイクロ加工用紫外レーザ。

「レーザ・フォーミングの基礎研究とその応用」
レーザを金属材料に照射し、外力を加えないで、熱応力により材料を塑性加工する。
関連する学会発表論文	難波義治、片山卓也：有限要素法によるレーザ・フォーミングの塑性変形解析、1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集、（1998）p.136.

計測

「内部全反射顕微鏡の基礎と応用」
微小欠陥検出の限界の解析と高出力レーザ用光学素子並びに半導体材料への応用。

「レーザ散乱計の応用」
光学部品の機能測定・簡易型表面粗さセンサーの開発・加工変質層の測定。

「光学素子の機能と光学面の微細構造との関係」
光学素子で使用される波長と表面粗さ時の空間周波数との関係。

「非球面の超精密形状計測とそのデータの加工機へのフィードバック」
関連する学会発表論文	難波義治、梅村博文、山下廣順*、国枝秀世*、田原譲*（*名古屋大学）：X線望遠鏡用超精密三次元形状計測システムの構築、1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集、（1998）p.76.