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施設・設備

核となる実験や研究を実現する施設・設備

誘導性プラズマ発生装置

“光るガス”プラズマを数Paという低圧の容器内で生成する、独自開発の装置。数nmという微細な配線を持つ半導体素子の加工に不可欠なプラズマの、最適な加工条件を知るための研究を行っています。

半導体物性評価装置

低温~高温下に置いたサンプルに特定波長の光や電圧パルスを当てた際のキャパシタンスや電流といった電気信号や発光信号を解析。測定結果は、“パワースイッチ”として期待される新たな半導体材料の研究開発に生かされます。

太陽電池特性測定装置

6号館屋上に設置された、126枚のソーラーパネルやインバータなどから成る、出力10kwの太陽光発電システム。発電量と太陽照度の関係を体感しながら学習できます。発生した電力は6号館で利用されています。

高電圧実験室

120万Vの高電圧によって雷を発生させ、ビルへの落雷の仕方など、雷の挙動に関する研究を実施。ほかにも風力発電システムの雷害対策、コロナ放電などの高電圧実験を、企業とも共同で行っています。

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